粒子計數(shù)器工作原理及分類
1、工作原理
光散亂式粒子計數(shù)儀(采用激光或白光光源)主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個單位體積的個數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測試范圍(粒徑通道)的個數(shù)。
首先粒子計數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進行氣體(一般的超凈間為室內(nèi)空氣)采樣。當采樣氣體中的粒子通過光源(激光)等收束的光束時，產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?脈沖)，粒子越大得出該脈沖信號就越***峰值)，通過此時的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個粒徑的個數(shù)濃度。即通過測試散亂光的數(shù)量和強度，得出實時測試數(shù)據(jù)。 凝聚核法粒子計數(shù)儀(CNC)工作原理(MODEL3851) 普通光散亂式粒子計數(shù)儀無法檢測到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進行測試。采用高溫酒精蒸汽與被測空氣混合達到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核，粒子徑增大后即可檢測出來。 CNC具有較高的采樣效率，因而可以在短時間內(nèi)率的檢測到超凈間內(nèi)的粒子濃度。
2、粒子計數(shù)儀的分類
A、按測試原理分 光散亂法測試(白光、激光)、顯微鏡法測試、稱重法測試、DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、擴散法測試、凝聚核法測試(CNC)等
B、按流量分 小流量0.1c****.83L/min)大流量1c****8.3L/min)
C、按形狀、體積大小分 手持式、臺式 D、按測試通道分 單通道(只測某一種粒子徑)；雙通道(測試某兩種粒子徑)；多通道(測試多種粒子徑)
粒子計數(shù)器的校準維護
1、粒子計數(shù)器是國家規(guī)定的計量器具，在使用一段時間后，其光學系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)都會發(fā)生變化，如光源老化、發(fā)光效率降低或聚焦錯位、透鏡被污染，從而使整機的轉換靈敏度變化。
2、儀器的工作位置和采樣管的進氣口應處于同一氣壓和同一溫度下，以免影響氣路系統(tǒng)工作和產(chǎn)生凝露二損壞光學系統(tǒng)。若必須再有壓差的情況下工作，則大壓差不超過200Pa在有壓差和溫度的條件下工作，會增大測量誤差，甚至損壞儀器。
3、搬運儀器時，應輕搬輕放，少受震動，建議放在包箱內(nèi)。
